LED陣列的設(shè)計和制作工藝研究
[摘要] 根據(jù)AlGaInP外延片的結(jié)構(gòu)特點設(shè)計了LED型微顯示器件的主要結(jié)構(gòu)。利用Markus2Christian Amann等人提出的模型對器件電流注入后的空間分布進行了簡單的理論分析，總結(jié)出了像素元和上隔離溝槽的理想尺寸分別是16μm ×16μm 和2μm。簡述了減薄GaAs 襯底的作用，設(shè)計襯底電隔離溝槽寬度為5μm。
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上網(wǎng)時間：2009-07-29
